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 影响洁净室都有哪些因素

2021-02-10 11:03:47

  影响洁净室的气流因素很多,如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等;以及生产设备上方气流的分流点。

  一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。

  洁净室内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁净度将会较差,在工作桌面钻上回风孔,将使涡流现象减少最低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善,亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。

  洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室:天花板系统;空调系统;隔墙板;地板;照明器具。

  注:洁净室之建筑主体构造,一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,必须满足以下条件:不会因温度变化与振动而发生裂痕;不易产生微尘粒子,且很难附着粒子;吸湿性小;为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高。

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